标题：
Vapor deposition device, vapor deposition method, and method of manufacturing organic electroluminescent display device
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20130280840A1
申请日：
2011-12-19
公开(公告)日：
2013-10-24
当前申请(专利权)人：
SHARP KABUSHIKI KAISHA
发明人：
SONODA, TOHRU | KAWATO, SHINICHI | INOUE, SATOSHI | HASHIMOTO, SATOSHI
简单同族：
CN103270189A | CN103270189B | JP2013249541A | JP5330608B2 | JP5384765B2 | JPWO2012086568A1 | US20130280840A1 | US20140345527A1 | US8845808 | US9714466 | WO2012086568A1
简单同族成员数量：
11
简单同族被引用专利总数：
17
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移