标题：
Vapor deposition device, vapor deposition method and organic el display device
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20130252364A1
申请日：
2011-12-15
公开(公告)日：
2013-09-26
当前申请(专利权)人：
SHARP KABUSHIKI KAISHA
发明人：
KAWATO, SHINICHI | INOUE, SATOSHI | SONODA, TOHRU
简单同族：
CN103238374A | CN103238374B | JP5285187B2 | JPWO2012090717A1 | US20130252364A1 | US8658545 | WO2012090717A1
简单同族成员数量：
7
简单同族被引用专利总数：
9
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移