标题：
Film formation device, vapor-deposited film formation method, and organic el display device production method
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20200220114A1
申请日：
2018-03-08
公开(公告)日：
2020-07-09
当前申请(专利权)人：
SAKAI DISPLAY PRODUCTS CORPORATION
发明人：
OGATA, HIDENORI | SAKIO, SUSUMU | KISHIMOTO, KATSUHIKO
简单同族：
JP6548856B1 | JPWO2019171545A1 | US20200220114A1 | WO2019171545A1
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
实质审查