标题：
Vapor deposition device, vapor deposition method, and method for producing organic el display device
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20140004641A1
申请日：
2012-03-09
公开(公告)日：
2014-01-02
当前申请(专利权)人：
SHARP KABUSHIKI KAISHA
发明人：
SONODA, TOHRU | KAWATO, SHINICHI | INOUE, SATOSHI | HASHIMOTO, SATOSHI
简单同族：
CN103430625A | CN103430625B | JP2014025150A | JP5367195B2 | JP5529329B2 | JPWO2012124629A1 | US20140004641A1 | US9748526 | WO2012124629A1
简单同族成员数量：
9
简单同族被引用专利总数：
13
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移