标题：
Vapor deposition device, vapor deposition method, and method for producing organic electroluminescence display device
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20160260902A1
申请日：
2016-04-08
公开(公告)日：
2016-09-08
当前申请(专利权)人：
SHARP KABUSHIKI KAISHA
发明人：
SONODA, TOHRU | KAWATO, SHINICHI | INOUE, SATOSHI
简单同族：
CN103168114A | CN103168114B | JP2013239441A | JP5298244B2 | JP5623598B2 | JPWO2012053402A1 | US20130199445A1 | US20160260902A1 | US9741932 | WO2012053402A1
简单同族成员数量：
10
简单同族被引用专利总数：
47
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移