标题：
Vapor deposition apparatus and method, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20130017633A1
申请日：
2012-01-23
公开(公告)日：
2013-01-17
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
SEO, SANG-JOON | KIM, SEUNG-HUN | KIM, JIN-KWANG | SONG, SEUNG-YONG
简单同族：
CN102881548A | CN102881548B | KR101288129B1 | KR1020130008851A | TW201303069A | TWI577826B | US20130017633A1 | US9012257
简单同族成员数量：
8
简单同族被引用专利总数：
5
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移