标题：
Deposition apparatus, method of forming thin film using the deposition apparatus, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus using the deposition apparatus
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20150031167A1
申请日：
2014-05-04
公开(公告)日：
2015-01-29
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
HUH, MYUNG-SOO | JUNG, SUK-WON | KIM, SUNG-CHUL | HONG, SANG-HYUK | JANG, CHOEL-MIN
简单同族：
KR1020150012582A | KR102111559B1 | US20150031167A1 | US9142415
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移