标题：
Vapor deposition apparatus, vapor deposition method and method of manufacturing organic light emitting display apparatus
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20150072453A1
申请日：
2014-02-10
公开(公告)日：
2015-03-12
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD
发明人：
JANG, CHOEL-MIN | KEY, SUNG-HUN | KIM, IN-KYO | JUNG, SUK-WON | HUH, MYUNG-SOO
简单同族：
KR1020150029427A | US20150072453A1 | US9481929
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
1
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移