标题：
Deposition apparatus, method for forming thin film using the same, organic light emitting display apparatus and method for manufacturing the same
授权日：
2017-03-07
公开(公告)号：
US9590207
申请日：
2016-03-17
公开(公告)日：
2017-03-07
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
HUH, MYUNG-SOO | KIM, SUN-HO | JOO, HYUN-WOO | KIM, JAE-HYUN
简单同族：
CN104069977A | CN104069977B | KR1020140118190A | KR102052075B1 | US20140291626A1 | US20160197305A1 | US9306192 | US9590207
简单同族成员数量：
8
简单同族被引用专利总数：
5
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移