标题：
Vapor deposition apparatus, deposition method, and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
授权日：
2016-04-19
公开(公告)号：
US9318535
申请日：
2013-07-17
公开(公告)日：
2016-04-19
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD
发明人：
JUNG, SUK-WON | HUH, MYUNG-SOO | JANG, CHOEL-MIN
简单同族：
EP2767611A1 | EP2767611B1 | KR1020140103519A | KR102124042B1 | US20140235003A1 | US20160203954A1 | US9318535
简单同族成员数量：
7
简单同族被引用专利总数：
9
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移