标题：
Deposition apparatus, method of forming thin film by using the same, and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20160064697A1
申请日：
2015-03-03
公开(公告)日：
2016-03-03
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
KIM, HAKMIN
简单同族：
KR1020160025137A | US20160064697A1 | US9745657
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移