标题：
Vapor deposition apparatus, deposition method using the same, and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20140322849A1
申请日：
2014-04-11
公开(公告)日：
2014-10-30
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
KIM, JAE-HYUN | HUH, MYUNG-SOO
简单同族：
KR1020140127634A | US20140322849A1 | US20170117473A1 | US9543518
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
2
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移