标题：
Apparatus for monitoring deposition rate, apparatus provided with the same for depositing organic layer, method of monitoring deposition rate, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus using the same
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20140377890A1
申请日：
2013-11-13
公开(公告)日：
2014-12-25
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD
发明人：
VORONOV, ALEXANDER | MASLOV, DMITRY | HAN, GYOO-WAN
简单同族：
KR1020150000356A | KR102108361B1 | US20140377890A1 | US9347886
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
2
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移