标题：
Deposition substrate transferring unit, organic layer deposition apparatus including the same, and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
授权日：
2017-02-14
公开(公告)号：
US9570716
申请日：
2013-12-10
公开(公告)日：
2017-02-14
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
YUN, KI-YOUNG | LIM, JONG-HEE
简单同族：
CN104183529A | CN104183529B | JP2014227607A | JP6381957B2 | KR1020140139359A | KR102098741B1 | TW201445668A | TWI643288B | US20140346467A1 | US9570716
简单同族成员数量：
10
简单同族被引用专利总数：
4
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移