标题：
Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20150171148A1
申请日：
2014-11-14
公开(公告)日：
2015-06-18
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
SONG, JUNG-BAE | CHOI, BEOHM-ROCK | LEE, SANG-PIL | SONG, YOUNG-ROK
简单同族：
CN102286727A | CN102286727B | JP2011233521A | JP5985796B2 | US20110266944A1 | US20150171148A1 | US20150299843A1 | US8894458 | US9136310
简单同族成员数量：
9
简单同族被引用专利总数：
55
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移