标题：
Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20120083061A1
申请日：
2011-10-19
公开(公告)日：
2012-04-05
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
KANG, HEE-CHEOL | PARK, HYUN-SOOK | RYU, JAE-KWANG | CHOI, YONG-SUP | LEE, YUN-MI | KIM, SANG-SOO
简单同族：
JP2011042874A | JP5676175B2 | US20110045617A1 | US20120083061A1 | US8137466 | US8193011
简单同族成员数量：
6
简单同族被引用专利总数：
65
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移