标题：
Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20160006001A1
申请日：
2014-12-29
公开(公告)日：
2016-01-07
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
LEE, SUHWAN | KIM, EUNHO | KIM, MUHYUN
简单同族：
KR1020160005850A | US20160006001A1 | US9644272
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
9
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移