标题：
Electrostatic chuck system and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the electrostatic chuck system
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20160285052A1
申请日：
2015-11-09
公开(公告)日：
2016-09-29
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
LEE, DUCKJUNG | YUN, KIYOUNG | PARK, JUNGSUN
简单同族：
CN106024690A | KR1020160116156A | US20160285052A1 | US9530988
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
1
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移