标题：
Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20110186820A1
申请日：
2011-01-04
公开(公告)日：
2011-08-04
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
KIM, JUNG-YEON | SUNG, UN-CHEOL
简单同族：
CN102169968A | CN102169968B | DE102011003458A1 | JP2011157625A | JP5622559B2 | KR101193186B1 | KR1020110089663A | TW201214834A | TWI607598B | US20110186820A1 | US8882556
简单同族成员数量：
11
简单同族被引用专利总数：
48
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移