标题：
Film formation source, vacuum film formation apparatus, organic EL panel and method of manufacturing the same
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20050263074A1
申请日：
2005-05-31
公开(公告)日：
2005-12-01
当前申请(专利权)人：
TOHOKU PIONEER CORPORATION
发明人：
MASUDA, DAISUKE | ABIKO, HIROSI | UMETSU, SHIGEHIRO
简单同族：
CN1704501A | JP2005344146A | JP4455937B2 | KR1020060046290A | TW200541395A | TWI366417B | US20050263074A1 | US20070269587A1
简单同族成员数量：
8
简单同族被引用专利总数：
127
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回 | 权利转移