标题：
Hot electron emission array for e-beam photolitography and display screens
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20040135518A1
申请日：
2003-01-09
公开(公告)日：
2004-07-15
当前申请(专利权)人：
ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL) | PAUL SCHERRER INSTITUT (PSI)
发明人：
BRUNE, HARALD | GRUETZMACHER, DETLEV
简单同族：
EP1299892A1 | JP2004503061A | US20040135518A1 | US6956333 | WO2002005305A1
简单同族成员数量：
5
简单同族被引用专利总数：
15
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费 | 权利转移