标题：
Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
授权日：
2014-12-30
公开(公告)号：
US8921831
申请日：
2010-07-15
公开(公告)日：
2014-12-30
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
KIM, JONG-HEON | PARK, HYUN-SOOK | RYU, JAE-KWANG | KANG, HEE-CHEOL | OH, JI-SOOK
简单同族：
CN101997091A | CN101997091B | KR101127578B1 | KR1020110020517A | US20110042659A1 | US8921831
简单同族成员数量：
6
简单同族被引用专利总数：
42
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移