标题：
Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20110053300A1
申请日：
2010-08-24
公开(公告)日：
2011-03-03
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
RYU, JAE-KWANG | PARK, HYUN-SOOK | LEE, YUN-MI | KIM, JONG-HEON | KIM, SANG-SOO | OH, JI-SOOK
简单同族：
CN101997092A | CN101997092B | DE102010039725A1 | JP2011047035A | JP5328726B2 | US20110053300A1 | US8968829
简单同族成员数量：
7
简单同族被引用专利总数：
113
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移