标题：
Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using thin film deposition apparatus
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20110143473A1
申请日：
2010-12-08
公开(公告)日：
2011-06-16
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
JI, CHANG-SOON | KIM, TAE-SEUNG | LEE, JONG-WOO | AN, CHENGGUO
简单同族：
CN102148234A | CN102148234B | JP2011127218A | JP5557653B2 | KR101156433B1 | KR1020110068179A | TW201127970A | TWI560288B | US20110143473A1 | US20120186517A1 | US8173481 | US8482422
简单同族成员数量：
12
简单同族被引用专利总数：
19
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移