标题：
Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20110053296A1
申请日：
2010-08-16
公开(公告)日：
2011-03-03
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
LEE, YUN-MI | CHOI, YONG-SUP | PARK, HYUN-SOOK | KIM, JONG-HEON | RYU, JAE-KWANG | CHOI, YOUNG-MOOK
简单同族：
US20110053296A1 | US8486737
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
43
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移