标题：
水晶発振式膜厚モニタ装置、及び、これを用いたEL材料の蒸発源装置と薄膜形成装置
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2012169168A
申请日：
2011-02-15
公开(公告)日：
2012-09-06
当前申请(专利权)人：
株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：
若林 雅 | 浅田 幹夫 | 韮沢 信広 | 弓場 賢治 | 松浦 宏育
简单同族：
JP2012169168A
简单同族成员数量：
1
简单同族被引用专利总数：
13
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
驳回