标题：
有機材料薄膜の形成方法及びその装置
授权日：
2010-04-16
公开(公告)号：
JP4495951B2
申请日：
2003-11-20
公开(公告)日：
2010-07-07
当前申请(专利权)人：
株式会社昭和真空 | 城戸 淳二
发明人：
熱海 陽彦 | 山本 篤一 | 城戸 淳二
简单同族：
JP2005150061A | JP4495951B2
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
20
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权