标题：
EL表示装置の作製方法及び薄膜形成装置
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2001102170A
申请日：
2000-07-24
公开(公告)日：
2001-04-13
当前申请(专利权)人：
株式会社半導体エネルギー研究所
发明人：
山崎 舜平
简单同族：
JP2001102170A | JP2001102170A5 | JP4425438B2
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
46
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费