标题：
製造装置および有機化合物を含む層の作製方法
授权日：
2010-05-21
公开(公告)号：
JP4515060B2
申请日：
2003-08-28
公开(公告)日：
2010-07-28
当前申请(专利权)人：
株式会社半導体エネルギー研究所
发明人：
山崎 舜平 | 村上 雅一 | 桑原 秀明
简单同族：
JP2004111386A | JP2004111386A5 | JP4515060B2
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
16
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费