标题：
薄膜表示素子の検査修正方法及び検査修正装置
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2012146529A
申请日：
2011-01-12
公开(公告)日：
2012-08-02
当前申请(专利权)人：
株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：
中尾 敏之 | 丸山 重信 | 片岡 文雄
简单同族：
CN102593378A | JP2012146529A | KR101368150B1 | KR1020120081927A | TW201238112A
简单同族成员数量：
5
简单同族被引用专利总数：
10
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回