标题：
マスク蒸着方法及び装置、マスク及びマスクの製造方法、表示パネル製造装置、表示パネル並びに電子機器
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2004183044A
申请日：
2002-12-03
公开(公告)日：
2004-07-02
当前申请(专利权)人：
セイコーエプソン株式会社
发明人：
跡部 光朗 | 四谷 真一
简单同族：
CN1522098A | EP1426462A2 | EP1426462A3 | JP2004183044A | KR100641478B1 | KR1020040050045A | TW200420735A | TWI235184B | US20040142108A1
简单同族成员数量：
9
简单同族被引用专利总数：
207
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回