标题：
素子材料堆積方法、素子材料堆積装置
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2009043561A
申请日：
2007-08-08
公开(公告)日：
2009-02-26
当前申请(专利权)人：
パナソニック株式会社
发明人：
横山 政秀 | 黒川 崇裕 | 住田 寛人 | 石川 和宜 | 高橋 光弘 | 竹澤 幹夫 | 冨永 善章
简单同族：
JP2009043561A
简单同族成员数量：
1
简单同族被引用专利总数：
10
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
驳回