标题：
蒸発源、真空蒸着装置及び有機EL表示装置製造方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2014072005A
申请日：
2012-09-28
公开(公告)日：
2014-04-21
当前申请(专利权)人：
株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：
三宅 竜也 | 松浦 宏育 | 峰川 英明 | 矢崎 秋夫 | 尾方 智彦 | 山本 健一 | 楠 敏明 | 玉腰 武司
简单同族：
CN103710667A | JP2014072005A | KR1020140042656A | TW201413204A
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
8
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
驳回