标题：
有機発光ディスプレイパネルの蒸着及び検査装置と、それを利用した蒸着及び検査方法
授权日：
2013-03-29
公开(公告)号：
JP5229831B2
申请日：
2010-11-05
公开(公告)日：
2013-07-03
当前申请(专利权)人：
三星ディスプレイ株式會社
发明人：
成 ▲うん▼ ▲てつ▼ | 崔 凡 洛
简单同族：
JP2011171280A | JP5229831B2 | KR1020110096382A | US20110207244A1 | US8628982
简单同族成员数量：
5
简单同族被引用专利总数：
12
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移