标题：
薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法
授权日：
2015-12-04
公开(公告)号：
JP5847437B2
申请日：
2011-05-27
公开(公告)日：
2016-01-20
当前申请(专利权)人：
三星ディスプレイ株式會社
发明人：
柳 在 光 | ▲曹▼ 昌 睦 | 康 熙 哲
简单同族：
CN102332539A | CN102332539B | JP2012023026A | JP5847437B2 | KR101182448B1 | KR1020120006324A | TW201216456A | US20120009328A1
简单同族成员数量：
8
简单同族被引用专利总数：
57
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移