标题：
塗布装置、塗布方法、および有機ELディスプレイ
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2018049805A
申请日：
2016-09-23
公开(公告)日：
2018-03-29
当前申请(专利权)人：
東京エレクトロン株式会社
发明人：
篠木 武虎 | 林 輝幸 | 大島 澄美
简单同族：
CN107871694A | JP2018049805A | KR1020180033093A
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
2
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
实质审查