标题：
有機電界発光素子の製造方法および製造装置並びに有機電界発光素子を用いた表示装置の製造システムおよび製造方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2003157973A
申请日：
2002-05-09
公开(公告)日：
2003-05-30
当前申请(专利权)人：
ソニー株式会社
发明人：
紙山 功 | 森 敬郎 | 山口 優
简单同族：
JP2003157973A | JP3705237B2
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
127
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费