标题：
蒸镀方法、蒸镀装置和有机EL显示装置
授权日：
2016-04-27
公开(公告)号：
CN103238375B
申请日：
2011-12-13
公开(公告)日：
2016-04-27
当前申请(专利权)人：
夏普株式会社
发明人：
川户伸一 | 井上智 | 园田通
简单同族：
CN103238375A | CN103238375B | JP5259886B2 | JPWO2012086456A1 | KR101597887B1 | KR1020130065730A | KR1020130128012A | US20130252353A1 | US8841142 | WO2012086456A1
简单同族成员数量：
10
简单同族被引用专利总数：
21
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权