标题：
蒸镀装置、蒸镀方法和有机EL显示装置的制造方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN103430625A
申请日：
2012-03-09
公开(公告)日：
2013-12-04
当前申请(专利权)人：
夏普株式会社
发明人：
园田通 | 川户伸一 | 井上智 | 桥本智志
简单同族：
CN103430625A | CN103430625B | JP2014025150A | JP5367195B2 | JP5529329B2 | JPWO2012124629A1 | US20140004641A1 | US9748526 | WO2012124629A1
简单同族成员数量：
9
简单同族被引用专利总数：
13
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权