标题：
有机层沉积设备和用其制造有机发光显示设备的方法
授权日：
2018-03-30
公开(公告)号：
CN104167511B
申请日：
2014-03-03
公开(公告)日：
2018-03-30
当前申请(专利权)人：
三星显示有限公司
发明人：
李秀奂 | 成沄澈 | 金茂显 | 李东规
简单同族：
CN104167511A | CN104167511B | JP2014224306A | JP6355361B2 | KR1020140135562A | KR102075527B1 | TW201447009A | TWI651428B | US20140342481A1 | US20200144556A1
简单同族成员数量：
10
简单同族被引用专利总数：
7
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权