标题：
薄膜沉积设备及制造有机发光显示装置的方法
授权日：
2016-03-02
公开(公告)号：
CN102332539B
申请日：
2011-07-12
公开(公告)日：
2016-03-02
当前申请(专利权)人：
三星显示有限公司
发明人：
柳在光 | 曹昌睦 | 康熙哲
简单同族：
CN102332539A | CN102332539B | JP2012023026A | JP5847437B2 | KR101182448B1 | KR1020120006324A | TW201216456A | US20120009328A1
简单同族成员数量：
8
简单同族被引用专利总数：
57
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移