标题：
薄膜沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法
授权日：
2015-11-25
公开(公告)号：
CN102169967B
申请日：
2011-01-14
公开(公告)日：
2015-11-25
当前申请(专利权)人：
三星显示有限公司
发明人：
李润美 | 金相洙 | 曹昌睦 | 朴铉淑
简单同族：
CN102169967A | CN102169967B | JP2011146377A | JP5677827B2 | KR101174875B1 | KR1020110083358A | TW201130129A | US20110168986A1 | US8859325
简单同族成员数量：
9
简单同族被引用专利总数：
69
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移