标题：
薄膜沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法
授权日：
2016-08-03
公开(公告)号：
CN102169968B
申请日：
2011-02-01
公开(公告)日：
2016-08-03
当前申请(专利权)人：
三星显示有限公司
发明人：
金贞莲 | 成沄澈
简单同族：
CN102169968A | CN102169968B | DE102011003458A1 | JP2011157625A | JP5622559B2 | KR101193186B1 | KR1020110089663A | TW201214834A | TWI607598B | US20110186820A1 | US8882556
简单同族成员数量：
11
简单同族被引用专利总数：
48
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移