标题：
薄膜沉积设备、制造有机发光显示装置的方法及显示装置
授权日：
2016-09-21
公开(公告)号：
CN103474447B
申请日：
2011-04-27
公开(公告)日：
2016-09-21
当前申请(专利权)人：
三星显示有限公司
发明人：
宋正培 | 崔凡洛 | 李相泌 | 宋泳录
简单同族：
CN103474447A | CN103474447B | DE102011017648A1 | DE102011017648B4 | JP2013214524A | JP2015120982A | JP5628972B2 | JP6049774B2 | KR101801351B1 | KR1020110120213A | TW201214826A | TW201442318A | TWI527285B | TWI540777B
简单同族成员数量：
14
简单同族被引用专利总数：
12
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权