标题：
沉积装置、有机发光显示装置及其制造方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN104167510A
申请日：
2013-12-20
公开(公告)日：
2014-11-26
当前申请(专利权)人：
三星显示有限公司
发明人：
洪兴其
简单同族：
CN104167510A | CN104167510B | KR1020140135563A | KR102075528B1 | TW201444992A | US20140339512A1 | US8945682
简单同族成员数量：
7
简单同族被引用专利总数：
1
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 复审