标题：
成膜源、真空成膜装置、有机EL面板的制造方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN1741692A
申请日：
2005-08-16
公开(公告)日：
2006-03-01
当前申请(专利权)人：
日本东北先锋公司
发明人：
安彦浩志 | 增田大辅 | 梅津茂裕
简单同族：
CN1741692A | EP1632586A2 | EP1632586A3 | JP2006057173A | KR1020060053216A | TW200608825A | US20060045958A1
简单同族成员数量：
7
简单同族被引用专利总数：
104
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回