标题：
真空蒸镀装置及用该装置制造有机EL显示面板的方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN1500904A
申请日：
2003-10-21
公开(公告)日：
2004-06-02
当前申请(专利权)人：
新日铁住金化学株式会社
发明人：
泽田恭彦 | 结城敏尚 | 村山竜史 | 尾越国三 | 石井和男
简单同族：
CN100535175C | CN1500904A | DE60318170D1 | DE60318170T2 | EP1418250A2 | EP1418250A3 | EP1418250B1 | JP2004137583A | JP4139186B2 | KR101025190B1 | KR1020040034537A | TW200407053A | TWI298000B
简单同族成员数量：
13
简单同族被引用专利总数：
243
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费 | 权利转移