标题：
掩模蒸镀方法及装置、掩模及其制造方法、显示板制造装置
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN1522098A
申请日：
2003-12-03
公开(公告)日：
2004-08-18
当前申请(专利权)人：
精工爱普生株式会社
发明人：
迹部光朗 | 四谷真一
简单同族：
CN1522098A | EP1426462A2 | EP1426462A3 | JP2004183044A | KR100641478B1 | KR1020040050045A | TW200420735A | TWI235184B | US20040142108A1
简单同族成员数量：
9
简单同族被引用专利总数：
207
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
驳回