标题：
薄膜沉积设备和制造有机发光显示装置的方法
授权日：
2014-12-17
公开(公告)号：
CN101997090B
申请日：
2010-08-05
公开(公告)日：
2014-12-17
当前申请(专利权)人：
三星显示有限公司
发明人：
吴枝淑 | 崔镕燮 | 金钟宪 | 康熙哲 | 李润美 | 曹昌睦
简单同族：
CN101997090A | CN101997090B | EP2281917A2 | EP2281917A3 | EP2281917B1 | JP2011032579A | JP5328727B2 | KR1020110014442A | TW201114927A | TWI471432B | US20110033964A1 | US8709161
简单同族成员数量：
12
简单同族被引用专利总数：
35
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移