标题：
薄膜沉积设备和制造有机发光显示装置的方法
授权日：
2014-08-20
公开(公告)号：
CN101997092B
申请日：
2010-08-25
公开(公告)日：
2014-08-20
当前申请(专利权)人：
三星显示有限公司
发明人：
柳在光 | 朴铉淑 | 李润美 | 金钟宪 | 金相洙 | 吴枝淑
简单同族：
CN101997092A | CN101997092B | DE102010039725A1 | JP2011047035A | JP5328726B2 | US20110053300A1 | US8968829
简单同族成员数量：
7
简单同族被引用专利总数：
113
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移